没有MEMS，你可能就用不上如今的智能手机和其他电子设备！MEMS如此重要，那什么是MEMS？说起MEMS，可能大家都没

随着5G商用提速，物联网时代来临，MEMS成为传感器的主流技术。 MEMS是集微传感器、微执行器、微机械结构、

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MEMS系统即微机电系统，MicroelectronMechanicalSystems，是指可批量制作的，集微型传感器、

一滩墨渍为2019年IEEE荣誉勋章获得者库尔特•彼得森开启了终生研究微型装置（MEMS）的大门，为21世纪感知万物，传

不久前，如果看到有人对着他们的冰箱或电烤箱说话，你可能会怀疑他们是否工作太辛苦，或许需要休假了。令人难以置信的是，这正在

MEMS技术在半导体行业里影响深远，也为传感器打开了新的大门，为21世纪感知万物，传感器大爆发奠定基础。MEMS技术使传